MEMS非接触温度センサー（オムロン）

20101005 日刊工業新聞 11面

　MEMS技術を使用した高感度の非接触温度センサーをオムロンが完成した。赤外線を効率よく集光できるマイクロミラーをシリコンウエハー上に形成し、応答速度3ミリ秒で感度を約7倍に高めた。広い空間を計測でき、空調制御や防犯への活用が見込まれる。