非接触で高精度３D測定、5μｍレベルで部品の形状把握(ニコン)

20101022 日経産業新聞 1面

　非接触式の3Ｄ測定器は高速で大量の測定点データを得られるが、プローブを当てて計測する接触式の精度1μｍ程度に比べ30μｍ程度が限度だった。ニコンは複数のセンサーを搭載した光学モジュールと5軸の同時制御システムを組み合わせ、5㎛の精度の3Ｄ測定器を開発した。センサー部は光が対象物に遮断された状態を測定するセンサーと、焦点があった部分の情報で測定する画像センサーを一体化した。自動車や航空機関連メーカーへの売り込みを図る。