ISSYS社：MEMSデバイス・システム生産ライン拡張

2010.10 海外産業動向
http://www.azonano.com/news.asp?newsID=19886
　Integrated Sensing Systems, Inc.(ISSYS)はマイクロフルイディクスを得意とするベンチャーで、2010年のMEMS生産ラインの拡張を完了し、工場設備面積は5,400平方フィートになったと発表した。
　拡張は、システムレベル（モジュール）のラインの生産能力拡張と高品質化を狙ったもので、パッケージング、検査工程まで含む。デバイスとしては医療機器、産業機器を対象としている。例えば無線式人体埋め込みデバイスの生産量は、年間１万ユニットの能力を有する。ISSYSのCEOであるNader Najafiは次のように言っている。ISSYSのMEMS生産ラインは月産数千チップにまで高めることができた。これらのチップは心臓や脳に埋め込む医療機器や燃料電池用センサ（メタノールセンサ、流量サンサ等）の販売拡大に寄与するであろう。また副社長のDoug Sparksは、MEMSを応用した微小量液の密度センサやコリオリ式流量センサの増産計画が完了した。また最近燃料電池用の成分センサやMEMS流量計の販売が伸びており、今後の燃料電池の伸びに伴って大きな市場が期待できると言っている。