センサー技術、センサー最近の研究成果

20101014 電波新聞 14面

　NEDO Fine-MEMSプロジェクトの成果を活用したマイクロミラーと、真空封止による熱絶縁構造を用いて、高感度の非接触温度センサー素子をオムロンが開発した。赤外線を効率よく集光するためシリコンウエハー上にマイクロミラーを形成した。この素子をアレイ化することにより、広い空間でも人のセンシングが可能となる。