ジャイロセンサー、MEMS技術活用、樹脂使い小型で安く(村田製作所)

20110328 日経産業新聞 1面

　村田製作所は、封止材料をセラミックスや金属に替えて樹脂とすることにより、安価で小型化した、MEMS技術によるジャイロセンサーを開発した。同社のジャイロセンサーは単結晶シリコン製の櫛状電極をガラスで密封しているので、封止材料を安価な樹脂に替えたもの。単価は数百円で主にカーナビ向け。