米GF,MEMS製造受託､200mmウエハー、14年、月産2万枚

20110307 日刊工業新聞 12面

　半導体受託製造で世界3位のアメリカ・グローバルファウンドリーズ(GF)はMEMSの製造受託事業に参入する。11年後半にシンガポールでMEMSデバイスの少量生産を始め、2014年には生産能力を200mmウエハーで月2万枚に引き上げる。同社はMEMS市場が5年度倍増するとみている。MEMS製造はこれまでSTマイクロエレクトロニクス等垂直統合メーカーが強かったが、半導体製造各社も参入し、世界最大手の台湾TSMCや2位のUMSもMEMS事業を拡大している。