サムコ、印の大学内に拠点、ドライエッチング装置など開発

20110307 日刊工業新聞 12面

　サムコはインドの大学内にMEMSや半導体レーザー向け製造装置の研究開発拠点を開設する。最近の現地におけるMEMSや半導体レーザー向け需要の高まりに応えるもので、現地仕様のドライエッチング装置や化学気相成長(CDV) 装置を開発し、市場投入する。