Analog Devices社：超高精度MEMSジャイロスコープ開発

2011.3　海外技術動向
http://www.eetindia.co.in/ART_8800636303_1800001_NT_63318c04.HTM
　Analog Devices社（ADI）は、4つの振動子を備え、様々なノイズをキャンセルできるＭＥＭＳジャイロを開発した。これまで2個の振動子でキャンセル機能を持たせていたが、今回4個の振動子でさらに精度を高めた。自動車安全システム、ナビゲーションシステムやロボット制御では現行よりさらに高精度なジャイロセンサが要求されている。ここでの精度は様々な環境因子による変動やドリフトの影響を少なくすることを言う。新ＭＥＭＳジャイロのスペックは、計測値50,000°/s、ドリフトは8°/hour、過剰な振動、衝撃に対する補償機能も備える。
　このMEMSジャイロはBiCMOSコンパチプロセスで作成される。標準BGAパッケージに収められ
、サイズは7x7x3mmである。