圧力センサーMEMS量産(ミツミ電機)

20110314 日経産業新聞 2面

　ミツミ電機は同社初めてのMEMS部品の製品化として圧力センサーの量産を開始した。圧力検知はピエゾ抵抗式で、周囲温度変化の自動補正機能を持ち、家庭用血圧計などの用途を見込む。