MEMS技術に注目、3軸加速度センサーやジャイロセンサー

20110329 電波新聞 3面

　センサーでMEMS技術が注目されている。HDDのデータ保護向けの落下センサーとして3軸加速度センサーが、カメラの手振れ防止としてジャイロセンサーが定着している。MEMS製造のウエハーはシリコンが一般的だったが、高精度なセンサー開発を目的として水晶利用が増えてきており、ジャイロセンサー、6軸センサー、気体や液体の圧力センサーが開発されている。