電子顕微鏡、試料の反射で凹凸観察、観察効率10倍(日立)

20110311 日経産業新聞 9面

　試料から反射した電子を元に画像を作る、「ミラー電子顕微鏡」という新原理の電子顕微鏡を日立が開発した。観察試料の表面にマイナス電気を帯びさせておくと、電子源から出した電子も同じマイナスのため、試料にぶつからずに跳ね返される。凸部分では反射電子が広がり、凸部分では縮小されるので、表面の凹凸を拡大した画像が得られる。このため、倍率が低くても広い面積を観察でき、観察時間を1/10にできる。今後実用化を進める。