圧電振動ジャイロセンサー、ラジコンヘリ向け検知能力高める(村田製作所)

20110331　日刊工業新聞　11面

　角速度の検知能力を高め、室内ラジコンヘリ向けに改良した圧電振動ジャイロセンサーを村田製作所が出荷する。温度変化による出力電圧のズレである温度ドリフトを低減した。近年需要が拡大しているホビー用とのラジコンヘリ向けジャイロセンサーで、村田製作所は世界シェア90％を占め、累積出荷は3000万個を超えた。

MEMSマイクロホンユニット開発（ホシデン）

20110330 日刊工業新聞 12面
　携帯電話や携帯ゲーム機向けのMEMSマイクロホンユニットをホシデン(東大阪)が開発した。信号をデジタル化し、誘導ノイズなどの影響を受けにくく、マイク周辺の基板回路設計が容易となる。

MEMS技術に注目、3軸加速度センサーやジャイロセンサー

20110329 電波新聞 3面

　センサーでMEMS技術が注目されている。HDDのデータ保護向けの落下センサーとして3軸加速度センサーが、カメラの手振れ防止としてジャイロセンサーが定着している。MEMS製造のウエハーはシリコンが一般的だったが、高精度なセンサー開発を目的として水晶利用が増えてきており、ジャイロセンサー、6軸センサー、気体や液体の圧力センサーが開発されている。

ジャイロセンサー、MEMS技術活用、樹脂使い小型で安く(村田製作所)

20110328 日経産業新聞 1面

　村田製作所は、封止材料をセラミックスや金属に替えて樹脂とすることにより、安価で小型化した、MEMS技術によるジャイロセンサーを開発した。同社のジャイロセンサーは単結晶シリコン製の櫛状電極をガラスで密封しているので、封止材料を安価な樹脂に替えたもの。単価は数百円で主にカーナビ向け。

Honeywell社：軍需用超小型高精度MEMSジャイロセンサ開発

2011.3　海外技術動向
http://www.militaryaerospace.com/index/display/article-display/9907344434/articles/military-aerospace-electronics/executive-watch-2/2011/3/honeywell-to_develop.html

　Honeywellは、DARPA支援の開発プロジェクトの下で軍需用超小型高精度なMEMSジャイロセンサを開発した。これは航空、陸上、海上の戦闘機のナビゲーションに用いられる。測定原理は振動式、速度積算式を用い角速度計測範囲の拡大化がなされている。また様々なノイズ因子（電波、振動、熱等）を除去し、回転方式のジャイロスコープと同レベルの検出精度を備える。
　　　　　

VTI社（フィンランド）：世界最小の3軸ジャイロセンサ開発

2011.3　海外産業動向
http://www.sys-con.com/node/1764463
　民生用の3軸ジャイロセンサの成長は著しく、ゲーム機やスマートフォン、タブレットへの搭載の後押しもあり、今年の出荷数は2億個に達する見込みである。このような需要の増大に対し、VTIは世界最小のデジタル出力3軸ジャイロセンサ(CMR-3000)を開発した。CMR-3000の特徴は、低消費電力、高い出力安定性、超小型で、特に出力形式はゲーム機の仕様に合わせており現在の民生用のニーズにマッチしている。小型化に関し、ウェハレベルパッケージング技術を用い、世界最小サイズ3.1x4.2x0.8mmを達成した。

昆虫型ロボット戦士が現れるか

2011.3　海外技術動向
http://gcn.com/articles/2011/03/25/army-studies-insects-to-design-bugbots.aspx
　米国軍事技術の研究者によると、将来の戦場では、ハエのような小さなロボットが偵察を担うかもしれない。現在様々なロボットが開発されているが、サイズが大きく、なにより自身の移動性能が低い。軍事技術研究所ではマイクロな自律移動システム（Micro-Autonomous Systems Technology: MAST）の開発が行われている。目的は、空間を自由に移動でき、かつ複数で自律的に行動する小型ロボットの開発である。これによって戦場で一人の戦士が複数の小型ロボットを操縦して軍事行動を行うことができる。小型ロボットの中でも特にハエのように翼と視覚、嗅覚を持ち自由に飛行できるセンサ付きロボットは有用性が高い。さらに通信機能を持たせ、ロボット同士で信号の伝達、団体行動を行い、建物の中を探索する。
　サイズを大きくした試作品ではすでにハエと同じメカニズムで飛行することに成功している。これからはいかにダウンサイズを図るかが課題となっている。

STMicro社、ARaymond社、Micropelt社：熱エナージハーベスタ共同開発

2011.3　海外技術動向
http://www.prnewswire.com/news-releases/wireless-sensors-push-smart-machines-into-green-revolution-118166694.html
　STMicroelectronics社(STM)、ARaymond社とMicropelt社はワイヤレスセンサシステムの電源用に熱エナージハーベスタを共同開発している。4月開催のハノーバメッセで開発品を共同で展示する。ワイヤレスセンサシステムは設備の自動診断等大きな用途と省エネルギーが期待されているが、電源が課題となっている。
　Micropeltは数mm角のチップで高い発電効率を有する熱電発電素子を開発した。STMはチップの製造を、ARaymondは車載、ソーラ関連部品メーカとして共同で開発している。STMは現在全固体薄膜２次電池（Enfilm）を開発中でこれと熱電発電素子との組合せを検討している。ハノーバではこれらが組み合わされたモジュール（PEM-TE01）が半永久的に電力を供給できる点がPRされる。
　ARaymondはソーラシステムのワイヤレス温度センサ用電源への応用を検討している。

SiTime社：最も消費電力の少ないSi発振器開発

2011.3　海外産業動向
http://www.i-micronews.com/news/SiTime-launches-industry’s-lowest-power-oscillator-high,6622.html
　SiTimeは消費電力が同仕様の水晶発信器と比較して66%少ない新Si発振器（SiT8004）を開発した。これはネットワークシステム、ビデオ、コンピュータ、記憶装置等に適している。
　水晶発振器メーカは、アナログICチップは自主開発できず、半導体メーカから購入している。特に周波数が高い領域ではアナログ回路含めた低消費電力化が必要で、水晶発信器メーカはこのアプローチが困難である。SiTimeは発振子チップとアナログICチップを同時に開発、集積化しているので今回の低消費電力化が可能になった。電子モジュールにおいて水晶型からSiT8004に置き換えることによって、システム全体の低消費電力化が可能となる。
　SiT8004は125MHzで消費電力は6.7mAで同周波数の水晶型より66%少ない。パッケージ仕様は水晶型コンパチで容易に置換え可能。特に耐衝撃性に優れ、5万Gに耐える。すでに量産供給体制は整っており、価格は1万個注文時、$0.98／個である。

圧力センサーMEMS量産(ミツミ電機)

20110314 日経産業新聞 2面

　ミツミ電機は同社初めてのMEMS部品の製品化として圧力センサーの量産を開始した。圧力検知はピエゾ抵抗式で、周囲温度変化の自動補正機能を持ち、家庭用血圧計などの用途を見込む。

日本大地震 by Applied Marerial

2011.3 海外産業動向
http://blog.appliedmaterials.com/japan-earthquake-applied-materials-update
　3月11日、日本の東海岸で世界最大の地震マグニチュード8.9が記録され、津波が日本を襲った。Apllied Materials（AP）は日本に工場と事務所を設置しているが、社員は全員無事であったことを報告する。APは、日本、世界の顧客に対する製品の供給が滞らないよう流通の手配をしている。
　APは自社社員や顧客だけでは無く、日本の全国民、家族が無事でいることを祈ります。

日本大地震 エレクトロニクス産業への影響は by iSuppli

2011.3　海外産業動向
http://www.electroiq.com/index/display/semiconductors-article-display/1706405240/articles/solid-state-technology/semiconductors/industry-news/business-news/2011/3/electronics-in-japan-earthquake-impact-from-ihs-isuppli.html
　3月11日過去最高の強さの地震が日本を襲った。日本のエレクトロニクス産業の現状と地震の影響を見てみる。2010年の日本メーカの半導体の売り上げは約５兆円で世界の20.8%を占める。もちろん海外でも生産されているが、ほとんどは国内の工場で生産されている。今回の地震は日本の半導体工場への直接のダメージは無かったようだが、サプライチェーン全体には影響が考えられる。主に流通系への影響、原材料の入手や製品の配送への影響が考えられる。DRAMは世界の10%が日本国内で生産されている。主なメーカはエルピーダとMicron（米）だがiSuppliの問い合わせに対し、影響は無いとのこと。
　液晶パネルLCDに関し、10インチ以上のLCDの世界市場は７兆円で日本は6.2%を占める。LCD TV用パネルは日本は14%を占める。日本国内ではシャープをはじめ第10世代の高解像度のLCDが生産されている。強い地震があった区域には、一つのLCD工場があったが、主力工場への影響はほとんど無い模様である。
　LCD関連で考慮しなければいけないのが、カラーフイルタやLEDような電子部品である。これらは日本が大きなシェアを占めており、地震の影響が心配させるが現在のところその影響はわからない。
　日本は全電子産業の14%、約20兆円を担っており、今後世界の供給基地としてどのような影響を受けるか注視せねばいけない。

電子顕微鏡、試料の反射で凹凸観察、観察効率10倍(日立)

20110311 日経産業新聞 9面

　試料から反射した電子を元に画像を作る、「ミラー電子顕微鏡」という新原理の電子顕微鏡を日立が開発した。観察試料の表面にマイナス電気を帯びさせておくと、電子源から出した電子も同じマイナスのため、試料にぶつからずに跳ね返される。凸部分では反射電子が広がり、凸部分では縮小されるので、表面の凹凸を拡大した画像が得られる。このため、倍率が低くても広い面積を観察でき、観察時間を1/10にできる。今後実用化を進める。

角速度高精度で検出、ADIがMEMSジャイロセンサー

20110311 電波新聞 3面

　角速度を検出するジャイロセンサーとしてハイエンドのMEMSジャイロセンサーファミリーをアナログ・デバイセズ社(ADI)が開発した。角速度検出の核である「センサーコア」を4つ搭載し、コアの差動で角速度を高性能に検知する。耐衝撃性が競合品の3倍、リニア加速度耐性が5倍、バイアス電圧変動誤差を1時間当たり8度以内とした製品や、角速度測定範囲が毎秒±2万度という超ワイドレンジ対応製品を含む。従来の高精度ジャイロセンサーでは衝撃を和らげるための外部機構を必要としたが、本製品では省略できる。アメリカでは軍事用途で採用されており、日本でも鉄道の車体安定化システム等ハイレベルな分野の用途を期待している。

地磁気センサーIC、ヤマハがスマートフォン向け開発

20110310 日刊工業新聞 8面

　スマートフォン向けの3軸地磁気センサー集積回路をヤマハが発売を始める。低消費電力で磁気干渉に強く、ダイナミックレンジを従来製品の3倍とした。

米GF,MEMS製造受託､200mmウエハー、14年、月産2万枚

20110307 日刊工業新聞 12面

　半導体受託製造で世界3位のアメリカ・グローバルファウンドリーズ(GF)はMEMSの製造受託事業に参入する。11年後半にシンガポールでMEMSデバイスの少量生産を始め、2014年には生産能力を200mmウエハーで月2万枚に引き上げる。同社はMEMS市場が5年度倍増するとみている。MEMS製造はこれまでSTマイクロエレクトロニクス等垂直統合メーカーが強かったが、半導体製造各社も参入し、世界最大手の台湾TSMCや2位のUMSもMEMS事業を拡大している。

サムコ、印の大学内に拠点、ドライエッチング装置など開発

20110307 日刊工業新聞 12面

　サムコはインドの大学内にMEMSや半導体レーザー向け製造装置の研究開発拠点を開設する。最近の現地におけるMEMSや半導体レーザー向け需要の高まりに応えるもので、現地仕様のドライエッチング装置や化学気相成長(CDV) 装置を開発し、市場投入する。

尿酸検査簡単に、小型装置、血液1滴で測定(堀場、立命館）

20110307 日本経済新聞 11面

　ＭＥＭＳ技術で作った微小な型をプラスチックに押して2マイクロメートルの流路を作り、一滴の血液で尿酸を調べられる手のひらサイズの測定装置を堀場製作所と立命館大学の杉山進教授が開発した。測定時間は1分以内、使い捨てカートリッジに血液をたらし、尿酸値を血液1デシリットルあたり1ミリグラム以下の誤差で測定できる。マイクロ流路にたらした血液は毛細管現象で力をかけなくても流路に流れ込み、尿酸を含む血漿成分を分離でき、これを電極で測る。既存の装置は血漿成分の分離にポンプやバルブを使うので小型でも卓上サイズだったが、本装置では動力もないため小型化できる。

Motorola社製新携帯タブレットXOOMに採用されたＭＥＭＳセンサは

2011.3　海外産業動向
http://www.eetindia.co.in/ART_8800636102_1800001_NT_292794c6.HTM
　MotorolaはiPadに対抗する新携帯タブレットXoomを発売した。iSuppli'sはXoomを分解して用いられているデバイスを公開した。MEMSセンサに関しては、AKM Semiconductor製電子コンパス、Kionix製3軸加速度センサ、STMictoelectronics製3軸ジャイロスコープ、Bosch製圧力センサが内蔵されていた。これらはナビゲーションシステムに持ちいられ、圧力センサは屋内の高さ情報を与える。その他のデバイスに関し、iPadはカメラが内蔵されていなかったが、Xoomは2台のCMOSカメラを内蔵させた。ソフトはGoogle Android、コアプロセッサはNvidia製Tegra 3 processorで演算処理速度はiPadを上回る。このプロセッサはAndroid端末に広く用いられており、東芝、サムソン、LG等の製品にも採用されている。

Analog Devices社：超高精度MEMSジャイロスコープ開発

2011.3　海外技術動向
http://www.eetindia.co.in/ART_8800636303_1800001_NT_63318c04.HTM
　Analog Devices社（ADI）は、4つの振動子を備え、様々なノイズをキャンセルできるＭＥＭＳジャイロを開発した。これまで2個の振動子でキャンセル機能を持たせていたが、今回4個の振動子でさらに精度を高めた。自動車安全システム、ナビゲーションシステムやロボット制御では現行よりさらに高精度なジャイロセンサが要求されている。ここでの精度は様々な環境因子による変動やドリフトの影響を少なくすることを言う。新ＭＥＭＳジャイロのスペックは、計測値50,000°/s、ドリフトは8°/hour、過剰な振動、衝撃に対する補償機能も備える。
　このMEMSジャイロはBiCMOSコンパチプロセスで作成される。標準BGAパッケージに収められ
、サイズは7x7x3mmである。

新型センサーで家電省エネ、ネットとの連携課題

20110304 日経産業新聞 2面

　家電製品や情報機器の省エネ対策として、センサーとネットワークの活用が期待されている。ハードウエアの省電力化が限界に近づいており、個別の機器の消費電力などの情報をセンサーで収集し、最適制御しようというもの。例えば室温が低くても日光が差し込む部屋では体感温度が暖かくなる。人の五感でとらえる情報を活用し、日射量など体感温度を推定するセンサーにより暖房温度を自動的に引き下げられる。室内環境や人の体を測定するセンサーの開発にはMEMS技術がカギを握っており、わが国の取り組みに期待がかかる。

ロボで部品差し込み、センサー搭載し正確に（IHI)

20110303 日経産業新聞 1面

　センサーを搭載し、工場で部品を正確に差し込み口に入れるロボットをIHIが開発した。アームの先端のセンサーで位置決めし、部品をつかんだ負荷を感知しながら差込口に部品を差し込む。従来は人手で部品を正確に並べていたが、バラバラに置かれていてもつかむ段階で正確な向きに調整する。人手に頼っていた部品の差し込みを自動化でき、品質安定と生産性向上につながる。

細胞から組織、自動成形、再生医療に応用(東大)

20110302 日経産業新聞 6面

　細胞から組織を形成し、再生医療への応用が期待できる装置を東京大学の竹内昌治准教授らが開発した。産業用ロボットを改良して作った装置は、自動制御で動かす注射針から細胞の塊を一定間隔で押し出し、立体的な形状を形成するもの。マウスの皮膚細胞から半径8ミリメートル、厚さ2ミリメートルの輪状の組織を数時間で作成した。皮膚細胞と血管を作る細胞を混ぜたものを装置に入れると、微細な血管のような構造もできるという。現状では、栄養を補給できる血管がないため、作った細胞は数日で死んでしまう。今後は血管なども作り、再生医療向けの組織作成を目指している。

国際標準化総力戦、基準認証のオールジャパン始動

20110301 日刊工業新聞 28面

　基準認証イノベーション技術研究組合が設立された。パナソニック、日立製作所、東芝、産業技術総合研究所などによる、共同で国際標準化活動を推進ることが目的。基準認証は①標準や規格の策定②規格を満たしているかの審査や確認をする認証③それらの基準となる正確な計測の実施を組み合わせた取り組みで、ISOやIECが知られている。日本には標準案を作る団体はあったが、研究開発機能を備えた団体はなかった。組合は東南アジア各国との共同作業による家電の性能評価方法の国際標準化に今後取り組むこととしている。