表面形状自在に変わるフィルム、微細加工簡単に(関西大学)

20110523 日刊工業新聞 24面

　マイクロデバイスの分野で簡単な微細加工法として期待できそうなフィルムを、関西大学の宮田隆志教授らが開発した。シリコーン系のポリマーフィルムにフォトマスクを通して紫外線を当てると、当たった部分の体積が減少し凹みができる。

　応用例として、凹凸状のフィルム表面にたんぱく質を吸着させ、シリコンウエハに押し付けることにより、たんぱく質分子を基板上に狙い通りのパターンで並べることができた。ハンコのようにタンパク質分子を転写することができた。