MEMS気圧センサー、携帯機器に最適(STマイクロ)

20101207 電波新聞 3面

　携帯機器に適したMEMS気圧センサーをSTマイクロエレクトロニクスが出荷する。モノリシック・シリコンチップ上に圧力センサーを形成する独自技術「VENSENS」を活用し、一般的な圧力センサー製造に必要なガラスやシリコンなどのウエハー間接合を不要とし、信頼性を高めている。地下750m～9000mという範囲で80㎝の高度差を検知できる。