カンチレバーに半導体、次世代素子計測へ(理研）

20101209 日刊工業新聞 22面

　理化学研究所基幹研究所の河野行雄研究員らのチームは、電位の検出部にAFMのカンチレバーを、電位の信号読み出し部に高い移動度を持つ半導体を組み込んだ、新しい電位分布イメージング用センサーを開発した。㎚スケールの高分解能で材料表面の電位分布やノイズ分布を画像化できる。新材料を使った次世代デバイスの検査をしたり作成時の歩留まり向上に期待されている。