2011年10月13日木曜日

民生用3軸角速度センサー、世界最小で最薄(パナソニックデバイス)

20111013電波新聞3
 シリコン基板の音叉型振動子上に圧電体のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT) を製膜した3軸検出素子を採用し、3.63.60.75ミリメートルという業界最小・最薄サイズの3軸角速度センサーをパナソニックデバイスが開発した。

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