オムロン：MEMSをモバイル機器用へ展開

2010.11　海外産業動向
http://www.eetimes.com/electronics-news/4210691/Omron-crafts-MEMS-for-mobile
　オムロンのこれまでのMEMSアプリは産業機器、医療機器が中心であった。今後はここで蓄積された技術を生かしてモバイル機器やグリーンデバイスを中心に展開していく。
　特に圧力センサ、RFスイッチ、赤外線画像センサでスマートフォン、ナビゲーション、ビルオートメーション市場を狙う。例えば圧力センサはこれまで産業機器や血圧計が中心であった。この圧力センサチップの裏面をウェハ接合を用いてSiで塞ぐことによって絶対圧センサができる。これをスマートフォン又はパーソナルナビゲーションに組み込むと、自分がビルの何階にいるかを検出できる。またRFスイッチもスマートフォンへの採用を目指す。
　赤外線画像センサは、室内での人の位置を、静止、動作中を問わず検出可能で、それによって空調をきめ細かく制御して省エネルギーにつなげる。