圧電型MEMSエネルギーハーベスタ出力10倍に by ミシガン大

2011.4　海外技術動向
http://nextbigfuture.com/2011/04/piezoelectric-mems-boosts-vibration.html
　ミスシガン大学で新しいMEMS振動型エネルギーハーベスタが開発された。発電量は従来の同クラス品に対し、10倍を達成した。数mm角（27mm3）のモージュールでワイヤレスセンサや埋め込み型医療機器への搭載が可能になった。
　本素子はMEMSで作製された高度な振動子に高品質な圧電材料を形成した構造から成る。従来の振動型MEMS発電の問題点は、高い振動周波数領域を用いていたことと、素子構造で決まる共振周波数付近を利用するので限られた周波数しか使えなかった。これが実用化されなかった一つの理由である。新素子は周波数が14Hz～155Hzまでの範囲で効率良く発電する。この周波数は走る時の手の動きに相当する。出力は振幅1.5gの時、200μWを発生しワイヤレスセンサ用電源として十分な出力である。本モジュールはスーパーキャパシタを備え10～20年の寿命を確保できる。ワイヤレスセンサ用電源市場は、2015年に約400億円と言われおり、本素子は有力な候補である。