2014年10月24日金曜日

圧電膜、生産時間半分に、車載センサー用溶液(三菱マテリアル)

20141024日経産業新聞13面

 三菱マテリアルは圧電膜を従来の半分の時間で生産する材料を開発した。大口径ウェハーの表面にPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)圧電膜を形成する際に使われるゾルゲル薬液の新製品を開発した。成膜工程の回数及び材量削減により加工費を半分以下とする。

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