2014年10月22日水曜日

鉛フリー圧電膜活用、3軸角速度センサー活用(日立金属)

20141022日刊工業新聞11面

 日立金属は鉛を使わない圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーを開発した。圧電薄膜には一般的にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)という鉛を含む材料が使われるが、ニオブ酸カリウムナトリウム(KNN)を用い、従来のPZTのセンサーと同等の検知特性を実現した。

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