高硬度で極薄の炭素構造物、豊橋技科大が製造法開発、高純度・均一DLC形成技術を活用

20120426日刊工業新聞24面

　豊橋技術科学大学の滝川浩史教授らのグループはダイヤモンドライクカーボン(DLC)による、高硬度で極薄の炭素構造物の製造技術を開発した。シリコン基板にDLC膜を形成し、イオンビームで形状に削った後にシリコンを溶かして、薄膜の構造物を形成する。大きさは3～10マイクロメートル、厚さは400ナノメートルが可能。従来のアルゴンガスや炭化水素ガスを用いるDLCに比べ、黒鉛からプラズマを発生させてDLC膜を作るため、純度が高く微細構造物が構築できる。インクジェットプリンターやカテーテル、血液検査装置向け摺動部品として実用化を目指している。