無鉛の圧電材料、センサーに応用、高温に強く(東工大、キヤノンなど）

20120411日経産業新聞7面

　有害な鉛を含まず高温にも耐え、シリコン基板上に薄膜を作成できる、新たな圧電材料を東京工業大学の舟窪浩准教授、上智大学の内田寛准教授、キヤノンなどが開発した。ビスマス・亜鉛・チタン酸化物で電圧1ボルトで200ピコメートル動き、従来の圧電材料と性能の遜色はない。これまで300度が限界だった温度も800度程度まで性能は安定している。厚さ30ナノメートルの薄膜を、塗布と加熱の繰返しで重ねていけば良い。カメラの手振れ防止センサー、スマホの加速度センサー、プリンターのインクジェット部品に応用でき、高温特性を生かした自動車エンジンのガス流量センサーにも使える。