2014年11月4日火曜日

XYZ軸同時測定、MEMSセンサー地震感知器に搭載(第一精工)

20141104日刊工業新聞1面

 第一精工は圧電薄膜を用いたMEMSによる3軸加速度センサーを搭載した地震感知器を発売する。感度を向上させ1Gの加速度で最大20ボルトの電圧を発生できる。

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