DLCの大面積処理法、大気中で50cm四方成膜(慶大など）

20110916日刊工業新聞5面

　慶應義塾大学の鈴木哲也教授と神奈川県産業技術センターは、ダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)を大気中で大面積に製膜する方法を確立した。基材を送り出すシステムを併用すれば数メートルの長さの基材を製膜することも可能となる。処理法は10キロ～20キロボルトの電流を流して電極と基材の間でプラズマを発生し、対象物を往復させてDLC膜を積層する。真空環境による一般技術に比べ100分の一程度のコスト削減が可能となる。DLCはダイヤモンドのように硬い炭素の膜で、耐摩耗性やガスバリアーに優れるという特性を持つ。