各種センサーの最新技術(北陸電気工業)

20110512 電波新聞 14-15面

　北陸電気工業はMEMS技術をコアに圧力センサー、3軸加速度センサー、フォースセンサー等をラインアップし、各分野への展開を図っている。圧力センサーは、ピエゾ抵抗効果を応用したもので、シリコンチップの中央部にダイヤフラムを形成し、そのうえに構築した4つのピエゾ抵抗により、圧力を電気信号に変換している。センサー素子に増幅回路や温度補償回路を付加した圧力センサーモジュールも製品化している。3軸加速度センサーは高精度化、低消費電力化に向かっており、12ビット出力の高分解能タイプを製品化した。フォースセンサーは微小荷重をリニアに計測でき、タッチパネルへの応用を展開している。