2014年6月17日火曜日

弾性振動を電気制御、MEMS技術利用、フォノニック結晶作製(NTT)

20140616日刊工業新聞15面

 NTTはMEMS技術を使ったフォノニック結晶を作成し、弾性振動、いわゆるフォノンの伝搬を電気的に制御することに成功した。フォノンの制御により、MEMSセンサーの検出感度を高められるほか、熱の流れを電圧で変調する熱機能人工材料などの開発に役立つ。振動特性の電気的制御が可能なMEMS共振器をフォノニック結晶の基本素子として使い、フォノンの伝搬を電気的に制御した。移動通信端末で使われる表面弾性波フィルターなどの高周波信号処理システムなどの多機能化、高性能化が期待される。

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