環境発電型電源モジュール、橋やビル、電池なしで監視（オムロン）

0140829日経産業新聞6面

　オムロンは環境発電型の小型電源モジュールを開発した。小さな錘をバネで支え、外部の振動で錘が揺れる動きを電力に換える。デバイスは対向した電極間の距離が70マイクロメートル、これが最大4ミリメートルスライドするMEMS構造とし、大きさは2センチメートル四方とした。自然環境の振動は規則的でないため、自動的に最大効率で電力変換できるアルゴリズムを導入し、電気を蓄えるキャパシタも搭載した。交直変換までモジュール化した。工場設備などに設置するセンサーの電源を想定し、2015年にも製品化する。

気圧センサー、高度把握数十センチ単位（アルプス電気）

20140828日経産業新聞16面

アルプス電気は携帯機器向けの小型気圧センサーを開発した。15年4月に月産300万個規模で量産予定。気圧の分解能は1パスカル程度、大気圧の変化計測で高度数十センチメートルの変化を読みとれる。ウエアラブル機器への採用を想定する。

豪・ブルーチップと開発したMEMSトラッキング・タグ、優れた耐性、量産（STマイクロエレクトニクス）

20140825電波新聞3面

　STマイクロエレクトロニクスはオーストラリアのブルーチップ社と共同開発した独自のMEMSベースのトラッキング・タグを量産する。このタグは、MEMS共振器の技術を利用し、電子部品を使用していない。極度の高・低温、ガンマ線照射、高湿度など過酷な環境にも耐性がある。

富士山頂でも検知、化学物質のセンサー（東大と東京農工大）

20140807日経産業新聞10面

　東大の竹内昌治教授と東京農工大の川野竜司準教授らは匂いなどを検知できるセンサーを開発し、富士山頂で計測に成功した。水滴と油の膜を使って人間の細胞膜構造を再現した「人工細胞膜」を作った。表面にイオンの流れを計測できる膜たんぱく質をくっつけ、匂い物質などがつくと、膜たんぱく質にイオンの流れが生じ、電気信号に変えて検知しセンサーとなる。

独研究機構と共同開発、MEMSデバイス低コストに重点（大研医器）

20140805日刊工業新聞11面

　大研医器はドイツのフラウンホーファー研究機構とMEMSを用いた使い捨て型医療機器の開発で共同研究契約を結んだ。同社は吸引器や医薬品注入器などディスポーザブル製品が主力。

薄膜圧電素子形成のMEMSデバイス、受託生産、ファウンドリビジネス開始（ローム）

20140805電波新聞1面

　ロームは薄膜圧電素子を形成したMEMSデバイス(圧電MEMS)を受託生産するファンドリービジネスを9月から開始する。加速度、ジャイロ、圧力、赤外線など各種センサーやインクジェットヘッド、マイクロホン、スピーカー、環境発電などアクチュエーターとして供給する。

金粒子によるMEMS技術、共同開発で提携（田中貴金属工業とメムス・コア）

20140801電波新聞4面

　田中貴金属とメムス・コア(仙台市)は金粒子によるMEMSパターンニングの実装拠点を構築する。田中貴金属が開発した、金微粒子ペーストを用いてスクリーン印刷法によりパターンを基板上に一括形成し加熱・加圧による気密封止できる技術を、メムス・コアが実装受託するもの。