小規模半導体工場「ミニマルファブ、産総研など初納入、車関連メーカーに

20140331日刊工業新聞26面

　産業技術総合研究所とミニマルファブ技術研究組合は、クリーンルームが不要で設置面積が既存の100分の一となる半導体製造設備「ミニマルファブ」を製品化し、自動車関連メーカーから初受注した。受注額は約1億円で洗浄装置2台、現像装置、露光装置、塗工機の5台。現在の装置は1000万～3000万円だが10年以内には100万～1000万円程度を目指す。

血液中のマイクロRNAわずか30分で解析、カード内に機能集積、がん早期診断に応用(東大)

20140327日刊工業新聞25面

　東京大学大学院の一木隆範准教授らは、がんの早期診断に効果的な血液中に含まれるマイクロRNAを迅速に解析できるシステムをマイクロ流路により試作した。流路には、血中でマイクロRNAが封入されている「エクソソーム」の収集、破壊してマイクロRNAの抽出、マイクロRNAの配列検出の3つの機能を搭載し、それぞれが流路で連結され、20カ所に設置した空気圧バルブで流路内の流れを制御する。従来は24時間以上必要だった解析時間を30分に短縮した。「最先端研究開発支援プログラム」の一環で研究した。

吐く息で脂肪燃焼測定、15年度に実用化(東芝)

20140324日刊工業新聞11面

　東芝は人が薄微量ガス濃度を測定する呼気分析装置を開発した。運動するときの呼気から脂肪燃焼量などが短時間で測ることができ、スポーツジムなどへの販売を目指す。ガス種に応じた特定波長の光を吸収する特徴の「レーザー吸収分光法」を活用した。

マイク向けMEMS変換器、出荷累計1億個突破(新日本無線)

20140317日刊工業新聞9面

　新日本無線のマイク向けMEMS変換器の累計出荷個数が1億個に達した。2013年3月に量産開始したもので、現在は月産2000万個体制。

身につける血流センサー、皮膚にレーザー光、スマホと連携(NTT)

20140313日経産業新聞1面

　NTTはレーザー光を使い、スマホの処理能力により小型でウエアラブルの血流センサーを開発した。皮膚の表面にレーザー光を照射し、血流に反射したレーザー光の周波数変化から分析するもので、2014年度中に1個数万円で商品化する。

超音波センサーで世界初の表面実装型（村田製作所）

20140312日経産業新聞４面

　村田製作所は基板表面に直接固定する表面実装型の超音波センサーを開発した。セラミック素子の振動により超音波を受発信するため小型化・表面実装がこれまで難しかった。従来品は自動車の障害物検知などに使われていたが、新型はスマホなど携帯機器の距離計測や位置検知、3次元姿勢県都などの応用が期待される。14年度から月10万個の量産を行う。

近接センサー、2割小型化、携帯向け（シャープ）

20140311日経産業新聞4面

　シャープは照度センサーとジェスチャーセンサーを搭載した携帯端末向け近接センサーで2割小型化した製品を出荷した。サンプル価格は150円で月産300万個を計画している。

世界最薄、曲げても動作、温度検知センサー、携帯端末向け売込み（三菱マテリアル）

20140311日刊工業新聞11面

　三菱マテリアルは世界最薄の100マイクロメートル以下の厚さで曲げても動作する温度感知センサー(サーミスタ)を開発した。電極や保護膜を含め厚さが70マイクロメートルで、携帯機器の狭い隙間にも設置できる。

スマホをデジカメ並みに、手振れ補正部品、日本勢が増産、アップル向け狙う(ミツミやアルプス)

20140306日本経済新聞9面

　スマホの撮影機能をデジカメ並みとする手振れ補正部品を日本のミツミ電機、アルプス電気、TDKなどが増産する。ミツミ電機が増産するのはカメラの焦点を合わせるアクチュエーターのうち、スマホ用の「光学式手振れ補正」機能を搭載した部品。スマホ用アクチュエーター市場は世界で約1000億円とみられ、日本勢が約6割のシェア。単価は数百円。

スマホ用圧力センサー、気圧でビルの階把握(STマイクロ)

20140306日経産業新聞7面

　スイスのSTマイクロエレクトロニクスはスマホ向け圧力センサーを発売した。気圧を測定してビルの何階にいるかを把握する。価格は1000個購入時に1個当たり1.4ドル。同社は圧力センサーの世界市場は2017年までに3億7500万ドル(380億円)程度とみている。

金メッキ使い加速度センサー、検出感度10倍に(東工大など)

20140306日刊工業新聞22面

　東京工業大学の益一哉教授、山根大輔助教、町田克之教授、東京大学年吉洋教授、NTTアドバンストテクノロジは共同で従来のシリコンMEMS加速度センサーに比べて10分の1という微小な加速度を検出できる超高分解能加速度センサーを開発した。重りとして金を使用したもので、2019年の実用化を目指す。

スマホやデジカメ用、アナログMEMSマイクユニット、(ホシデン)

20140306電波新聞4面

ホシデンは高音圧対応アナログMEMSマイクロフォンユニットを販売する。スマホ、携帯ゲーム機、デジカメ、車載機などの需要を見込み、月産300万個を予定している。

位置計測センサー、精密機器各社が増産、小型飛行機など需要

20140305日本経済新聞13面

　精密機器メーカー各社が小型・低価格化が進む位置計測センサーを増産する。東京計器は3年後までに現在の10倍の年間100万台、東京航空計器は2倍以上の年間200～300台とする。GPSやセンサーを使い、無人の農業機械や小型航空機などに用途が広がっている。

MEMSプローブカード、DRAM市場参入、次世代ロジック向け年内投入(日本電子材料)

20140303日刊工業新聞9面

　日本電子材料はMEMS技術を用いた半導体試験装置のプローブカードでDRAM市場に参入する。DRAMは狭ピッチ、多ピン化を背景に、MEMSプローブカードが主流になっており、この市場に参入するもの。